微分干涉显微系统测量表面微观形貌的实验研究

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该文对相移干涉测量表面形貌技术,在理论与实验方面开展了一定的研究工作,为透射式测量有机晶体打下基础.工作的重点在于对微分相衬干涉显微镜系统的系统构建、系统的定量调试和用图像处理的方法完成微观样品三维形貌重构等几方面的工作.由Nomarski棱镜引起的相位差β会极大地影响被测相位的准确性,为使提取的相位值为准确的被测物相位值,在通过放心转检偏器进行微观形貌测量时,光路高速中应该把β调整为零.影响形貌测量精度的因素很多.在工作中,着重分析了图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果.表明了应用图像处理技术,对改善二维、三维图像质量,提高检测精度的可行性,并对系统的各个主要性能进行了测试.工作中分别用汇编语言、VC、Matlab等编程语言编制了相应的光学系统调试、测量、三维形貌重构、图像处理等软件.其中光路调整部分改变了过去的完全手动和人眼观察,现在在光路调整时,可以很方便地从显示器上读取观察窗口中的光强值,从而为定量地调整光路提供了可靠的依据.在图像采集部分,利用现在较为先进VisualC++编程软件进行编程,为存取图像提供方便.在数字图像处理部分,在Matlab编程语言的环境下,充分利用其大数据量运算的强大功能,进行了多方面的数字图像处理的实验.
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