【摘 要】
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真空镀膜机是电子工业器件生产和研制过程中广泛使用的设备。随着计算机技术、自动化技术和通信技术的迅速发展,生产自动化也越来越多地在工业生产过程中得到了应用。特别是近
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真空镀膜机是电子工业器件生产和研制过程中广泛使用的设备。随着计算机技术、自动化技术和通信技术的迅速发展,生产自动化也越来越多地在工业生产过程中得到了应用。特别是近几年来,随着工控技术的迅速发展,各种新型的控制系统不断出现,在现代工业控制领域发挥巨大作用。随着镀膜技术不断在工业上的应用,镀膜设备实现计算机自动控制是一个必然趋势。
经过研究:FJL560CI1型真空镀膜机的被检测对象和被控量不是很多,所以在这里对FJL560CI1型真空镀膜机控制系统采用现在应用非常广泛的小型控制系统即基于个人计算机控制系统(PCs)。本系统主要用于监控两套镀膜设备,一套是磁控溅射镀膜设备,另一套是离子束溅射设备。
本控制系统温度的控制采用具有通讯功能智能化的FP93温度表;模拟量的采集利用工业控制计算机与研华PCL-818HG数据采集卡;模拟量输出控制采用工业控制计算机与研华ADAM智能工业模块;开关量和步进电机驱动器的控制采用具有数字量输入输出功能和脉冲输出功能的PCL-818HG数据采集卡。
工控系统软件的设计是在Windows XP环境下,采用VISUAL BASIC 6.0编程,利用其中的通讯控件、数据库等相关控件和技术开发了以下功能:
(1)现场设备的控制:
(2)现场实时监测数据以及图形显示;
(3)各种数据的存储及数据查询;
(4)系统的远程监控。
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