球形自聚焦平面微透镜陈列研究

来源 :中国科学院西安光学精密机械研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:victor9808
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该文从理论和实验两方面对用两步电场辅助离子交换法制作球形自聚焦平面微透镜阵列的新工艺进行了分析、试验和讨论.在理论方面,该文分析了离子扩散的机理及其对玻璃折射率的影响;分析了电场在加快离子扩散速度、控制折射率分布等方面的作用;建立了两步电场辅助离子交换的数学模型;得出平面微透镜阵列特性参数的理论计算公式,并探讨了提高透镜数值孔径的方法;在平面微透镜成像特性方面,该文从光线方程出发,得出了平面微透镜的成像矩阵,并给出了计算高斯光学量的数学公式.在实验方面,该文设计了一套利用两步电场辅助离子交换法制作球形自聚焦平面微透镜阵列的工艺路线;对这种工艺过程中的各环节进行了分析,定性地说明了它们对所制作的平面微透镜阵列性能的影响;并利用这种工艺成功地制作出了性能良好的球形自聚焦平面微透镜阵列样品.最后,对实验样品的特性参数进行了测试,并将结果与半球形透镜样品的光学性能作了比较和分析,得出了满意的结果.
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