【摘 要】
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该文以集成注入电阻为例,通过分析诸多工艺参数对阻值影响的程度,论证了影响电阻值的关键工艺参数为热退火的炉温.就集成电路电参数与工艺参数之间的关系,分析了影响工艺参数
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该文以集成注入电阻为例,通过分析诸多工艺参数对阻值影响的程度,论证了影响电阻值的关键工艺参数为热退火的炉温.就集成电路电参数与工艺参数之间的关系,分析了影响工艺参数均匀性的原因,针对造成工艺参数偏差的原因,提出了一些改善其均匀性的方法.如:选购高质量、均匀性好的单晶硅片,改善氧化、扩散炉恒温区内的温度均匀性;在扩散及退火过程中,适当延长硅片在低温区的予热时间,以便使硅片内各点受热均匀;定期检测光刻机,保证曝光区内光强分布的均匀性.我们以集成注入电阻为例,通过分析阻值的分布规律,研究了影响阻值的因素,进而提出了改进其均匀性的方法.
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