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该文在国内首次尝试利用燃烧化学气相沉积技术制备陶瓷薄膜,通过调研和查阅大量参考文献,研制了燃烧化学气相沉积原理性实验设备和初始液体配方,对反应液体源物质进行他优选,并以过饱和反应物密度为系统相变动力学参数,建立了系统相变动力学模型,对系统的相变驱动力、临界晶核尺寸、晶核形成能、晶体生长速率和系统成核率从理论上进行分析,通过对实验室试验,验证了所建模型的正确性.