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【摘 要】
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微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)是一种新的薄膜制备方法,该文在自行研制的水冷反应室式MWPCVD装置中用这种方法进行制备金刚石膜的工艺研究.首先详细解释了水冷反应室式MW
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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中国科学院等离子体物理研究所
【发表日期】
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2002年期
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