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【摘 要】
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硅基光波导压力传感器是将输入压力信号转换成输出光学信号的MEMS器件,这种传感器具有灵敏度高、耐高温、抗电磁干扰能力强、防腐蚀、自身无需电源等优点,适合于在特殊环境中
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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哈尔滨工业大学
【发表日期】
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2004年期
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