【摘 要】
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本文对CIGS薄膜、缓冲层材料及太阳电池进行了研究。主要内容如下： (1)设计加工了适合现有设备条件的新型金属蒸发源和硒蒸发源。经改造的共蒸发系统，采用简单的温度控制，达
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本文对CIGS薄膜、缓冲层材料及太阳电池进行了研究。主要内容如下：
(1)设计加工了适合现有设备条件的新型金属蒸发源和硒蒸发源。经改造的共蒸发系统，采用简单的温度控制，达到了较高的技术指标。
(2)研究了Se在沉积CIGS薄膜过程中的作用，明确地提出Se蒸发温度存在着临界点，由此划分了Se蒸发温度的优化范围，建立了简单确定工艺参数的方法，为提高电池效率和工艺重复性奠定了基础。
(3)通过实验研究与理论分析，提出了关于CIGS薄膜表面贫Cu层结构的新模型，统一了目前多种不同的、甚至是相互矛盾的模型。
(4)采用醋酸镉溶液体系沉积CdS作为CIGS电池的缓冲层，通过大量的实验研究确定了CdS沉积的溶液配方及工艺参数。
(5)采用CBD法沉积ZnS作为CIGS电池的无镉缓冲层，通过大量的实验有效解决了沉积困难，重现性差的问题。
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