【摘 要】
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该文通过对准分子激光器特点的研究,阐述了准分子激光消融材料机理,并论述了准分子激光打孔和切割的加工机理,同时文章主要针对准分子激光微精切割进行了大量研究,并先后对消
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该文通过对准分子激光器特点的研究,阐述了准分子激光消融材料机理,并论述了准分子激光打孔和切割的加工机理,同时文章主要针对准分子激光微精切割进行了大量研究,并先后对消融率、最大打孔深度、切割槽形、切割槽深和最大切割速度建立了理论模型.随后通过大量的实验、准分子激光各种参数的分析和聚合物(主要PMMA材料)特点的研究,进一步阐述上述理论模型和实验数值的一致性.该文还进行了YAG激光和K<,r>F准分子激光打孔polyimide和加工单晶硅片的加工质量的比较,初步探讨了准分子激光加工磁记悄材料和硅片等功能材料的优点.由于准分子激光具有能量密度高、脉宽窄、瞬时功率密度达到10<10>W/cm<2>和光化学消融机理,该文同时阐述了准分子激光应用于微精加工业的美好前景.
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