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本论文主要研究了极紫外波段Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子辐射下的反射率变化情况。从辐射损伤的基本理论出发,讨论了带电粒子与物质的相互作用机理,包括粒子与点阵原子的碰撞、散射截面、离子的能量损失及离子对不同材料产生的辐射效应。设计并建立了一套的反射率测量装置,主要由激光等离子体光源、凹面光栅单色仪和光电信号探测系统等组成,分别讨论了各组成部分在反射率测量中的有利方面。解决了影响测量稳定性的问题,使测量达到较好的重复性,并对测量系统进行了波长标定和反射率