【摘 要】
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在膜系设计和镀膜工艺研究中,获取薄膜材料在一定光谱范围内准确的色散关系具有十分重要意义。本文在利用VASE(?)型椭偏仪获得高精度椭偏数据的基础上,编程并对某些薄膜材料
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在膜系设计和镀膜工艺研究中,获取薄膜材料在一定光谱范围内准确的色散关系具有十分重要意义。本文在利用VASE(?)型椭偏仪获得高精度椭偏数据的基础上,编程并对某些薄膜材料的色散关系进行了拟合计算,得到了所测薄膜材料的色散曲线。首先,论文在对椭圆偏振测量的基本原理进行了简单介绍和推导后,对光学薄膜系统的椭圆偏振测量进行了分析,在此基础上,讨论了椭圆偏振测量中椭偏参数关于薄膜参数的灵敏度以及入射角对椭偏参数的影响,并进行了具体的仿真分析。其次,在椭偏数据处理部分,针对仪器自带数据处理软件在使用中出现的问题,从理论上分析讨论了仪器自带数据处理软件所选择的Levenberg-Marquardt算法存在的不足,并成功的将遗传算法引入到椭偏数据处理中来。结合具有全局最优、无需赋给初始值的遗传算法和具有局部最优、优化结果稳定的使用导数最优化方法,进行了椭偏数据处理程序的设计,很好地克服遗传算法结果的不稳定性和使用导数优化方法中赋初始值的问题。最后在Matlab7.1中编写了能够独立运行的数据处理软件,对薄膜样品的椭偏测量数据进行了处理分析,得到较准确的色散关系,并通过与高精度单波长透反射率测量仪的测量结果比较,验证了数据处理软件的有效性和正确性。
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