硅基蓝光发射材料:多孔纳米β-SiC薄膜、注Si<'+>热氧化SiO<,2>薄膜的微结构及其发光特性

• 作 者: 廖良生
• 机 构: 南京大学
• 出 处: 南京大学
• 发表日期: 1995年期
• 关键词: 多孔纳米β-SiC薄膜 硅基蓝光发射材料 微结构 发光特性 发光机理 SiO薄膜

该文采用离子注入技术,在单晶Si中注C<+>,经过高温退火和电化学腐蚀,制备了硅基多孔纳米β-SiC薄膜,还在硅基热氧化SiO<,2>薄膜中注Si<+>,制备了富Si氧化膜,从而获得了两种发光性能较为稳定、制备方法易与硅平面工艺兼容、且发光强度较高的硅基蓝光发射材料.该文主要研究了多孔纳米β-SiC薄膜的微结构、光致发光特性和发光机理、电致发光特性和发光机理,还研究了注Si<+>热氧化SiO<,2>薄膜的光致蓝光特性和发光机理.