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随着第三代同步辐射光源的广泛使用，X射线组合折射透镜(X-ray CompoundRefractive Lens，XCRL)得到了迅速发展，由于它具有结构简单紧凑、高温稳定性好且易冷却、对透镜表面粗糙度要求较低等优点，该元件在高能X射线领域有着广泛的应用前景。用X射线组合折射透镜制作的X射线微探针可用于衍射及荧光分析，可在半导体工业中探测化学成分、晶体质量及机械应力等，是微区微量分析中一种不可代替的技术。
本论文主要研究了XCRLs，用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状X射线透镜，用LIGA技术制作了线列XCRLs，并首次利用正梯形和倒梯形跨接的两种方案对其进行了两级跨接。
论文主要包括以下四部分：
首先，简要介绍了XCRLs的发展历程，并在透镜的材料选择和透镜的结构两个方面概述了XCRLs的研究进展和应用前景以及本课题的主要研究内容。
其次，利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状透镜，并对其进行了聚焦性能测试，结果表明，所制作的透镜的一维聚焦效果较好。
再次，设计并用LIGA技术制作了线列XCRLs，并对所制作的线列透镜进行了聚焦性能测试，测试结果LIGA技术制作的线列XCRLs很好的实现了一维聚焦。在此基础上，本文进行了正梯形和倒梯形两种方案的线列XCRLs的两级跨接。
最后，对于本文所采用的XCRLs制作技术进行了比较。LIGA技术是现在比较成熟的技术，应用十分广泛，但是存在国内X射线光源使用不方便的问题；UV-LIGA技术是很有发展前景的技术；背面曝光技术工艺条件我们摸索的还不够成熟，有待进一步研究。