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本论文将10纳米以下波段软X射线作为研究的重点，从理论上分析了多层膜的选材方法和原则，模拟分析了可能的材料对组合的反射率特性；在8.0nm附近，利用多层膜的选材原则，选择Ru/B4C和Mo/B4C作为多层膜材料对，选择平坦型优化函数，利用随机数搜索的方法，对多层反射膜进行了带宽模拟研究；从薄膜的生长理论出发，研究了制备参数对薄膜结构和性能的影响，确定了W、C、Mo、B4C材料的制备工艺，并进行了试验制备研究，对所制备的单层膜进行了XRD和XPS测试分析；进行了W/C、Mo/C、W/B4C、Mo/B4C多层膜的制备研究，制备了不同周期结构的多层膜。对所制备的多层膜进行小角X射线衍射测试，拟合分析了多层膜的周期厚度、界面粗糙度情况。分析了薄膜材料氧化程度对多层膜反射特性的影响。部分样品进行了同步辐射反射率测量，并利用试验得到的粗糙度和氧化情况进行多层膜的性能拟合分析，拟合结果与实测数据吻合良好；在8.0nm附近，进行了软X射线多层膜反射式偏振膜的设计和制备研究。分析了反射式偏振膜的结构设计方法，进行了多层膜的制备，并进行了多层膜周期结构的测试，对所制备的多层膜进行了性能拟合分析。最后，结合本课题的研究工作，给出了一些后续研究建议。