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【摘 要】
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现代集成电路的发展日新月异,对工艺和电路的生产要求日趋严格。随着IC的高速化、高集成化、高密度化和高性能化,电路特征尺寸不断缩小,多层布线在IC制造中的地位不言而喻。
【出 处】
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北京工业大学
【发表日期】
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2018年01期
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