二维MoTe2材料的相变性能研究

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作为唯一基于焦耳热效应工作的存储器,相变存储器(PCRAM)被认为是最有潜力的下一代主流非易失性存储器之一,然而传统硫系相变材料在尺寸微缩至几纳米时存储性能会急剧下降,制约了高存储密度PCRAM的发展。二维过渡金属硫化物(TMDs)具有与硫系相变材料相似的相转变行为,并且能够在超小尺寸下工作,有望在超高密度PCRAM开发方面取得突破。但由于二维TMDs材料温度场诱导的相变行为非常复杂,尚缺乏其热致相变机理的系统研究,尤其是通过电流焦耳热效应实现二维TMDs的可逆且非易失性相变仍然存在巨大挑战,目前还没有实验证实二维TMDs可实现类似PCRAM的信息存储功能。为此,本文以二维MoTe2这种相变势垒最低的TMDs为例,深入研究了其热致相变行为,制备并测试了基于二维MoTe2的PCRAM器件。
  论文首先对二碲化钼(MoTe2)在热场作用下的相变行为和相变机理进行了系统研究。通过变温拉曼测试研究了热场作用下MoTe2中的可逆相变行为,发现在高温下2H-MoTe2中会出现1T相的拉曼峰,并且这种结构在降温后能够保持。所制备的1T相样品高温退火后也会部分转变为2H相,这种相变与降温速率相关,证实在适当的温度场下MoTe2可以发生2H相和1T相的可逆转变,并且均能在常温下保持稳定。
  进一步通过电阻-温度(R-T)测试来研究热场作用下2H-MoTe2中相变引起的电学性质变化,观察到升温过程中因样品结构变化引起的电阻变化,在降温后电阻比初始电阻低1-3个数量级,基于此讨论了高温下MoTe2的相变机理并提出了相变的原子位移模型,这种通过温度调节的可逆相变使其可用于PCRAM。
  最后,研究优化了材料与电极的接触特性,制备出了基于Au/MoTe2/Au垂直结构的单元器件,通过器件电学测试成功实现了低电压下高阻态向低阻态、高电压下低阻态向高阻态的可逆转变,并基于原子位移模型分析了这种基于TMDs的PCRAM器件的阻态转变行为。
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