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电子能谱仪广泛地应用于固体材料科学研究领域.而新型的电子能谱仪因为具有高分辨高灵敏的微区分析和高空间分辨的成像分析以及非破坏性的深度剖析(角分辨XPS),所以还可以对材料表面进行微区分析、角分辨分析以及元素和化学态成像分析,为人们提供了材料表面更细致和更准确的物理化学信息.如利用微区分析技术,可以对微米尺度的材料(单个树脂小球或单个单晶)表面进行无损分析,从而获取样品表面元素含量及存在状态.