【摘 要】
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钙钛矿结构的金属氧化物电极可以提高铁电薄膜的抗疲劳性,而有取向的铁电薄膜的剩余极化强度也会提高.因此,本文采用溶胶- 凝胶法,在单晶LaAlO3(LAO) (001)衬底上制备了高度c 轴取向的PLZT/LNO 异质结,并对其显微形貌和铁电性能进行了测试分析.结果表明,c 轴取向的LNO 薄膜电阻率达到1.51×10-3Ω·cm,表面光滑致密.
【机 构】
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西安理工大学材料科学与工程学院,西安 710048 西安理工大学材料科学与工程学院,西安 7100
【出 处】
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第十三届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会
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钙钛矿结构的金属氧化物电极可以提高铁电薄膜的抗疲劳性,而有取向的铁电薄膜的剩余极化强度也会提高.因此,本文采用溶胶- 凝胶法,在单晶LaAlO3(LAO) (001)衬底上制备了高度c 轴取向的PLZT/LNO 异质结,并对其显微形貌和铁电性能进行了测试分析.结果表明,c 轴取向的LNO 薄膜电阻率达到1.51×10-3Ω·cm,表面光滑致密.
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