【摘 要】
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本文报道的是一种简单的玻璃芯片低温键合新方法。该法的特点是操作简单，方便易学，成品率高，在普通实验室即可进行，无需使用粘合剂或特殊设备，如超净工作室、程控高温炉以及施加重
【机 构】
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浙江大学化学系微分析系统研究所,杭州,310028
【出 处】
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第五届全国毛细管电泳及相关微分离学术报告会
论文部分内容阅读
本文报道的是一种简单的玻璃芯片低温键合新方法。该法的特点是操作简单，方便易学，成品率高，在普通实验室即可进行，无需使用粘合剂或特殊设备，如超净工作室、程控高温炉以及施加重物等，而且适合批量加工。所需键合的芯片微通道的刻蚀采用常规的光刻技术和湿法刻蚀技术。芯片键合方法:将带微通道的基片(打好孔)与盖片，依次用自来水(10-20m/s)和乙醇冲洗、浓硫酸浸泡的方法进行预洗。再用自来水和去离子水依次快速冲洗，在局部超净环境中，将芯片紧密贴合，用吹风机加热(80-1000C)吹干，时间约20mine放置通风处过夜即可使用。
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