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发展了一种采用超声波电机精密驱动的二维精密控制系统。
利用超声波电机的低速大转矩、动作响应快、定位精度高等特性，直接驱动二维精密平台，可获得很高的位移分辨率。
利用上位机、DSP控制器和编码器组成的闭环控制系统，通过对超声波电机驱动信号的调频实现精密定位。已研制的二维平台，采用一对直径为60mm的超声波电机作为驱动元件，可获得100nm的位移分辨率，同时也适用于要求大行程、高位移精度的实际生产过程。