【摘 要】
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基于MEMS技术的无源振动阈值传感器因其待机功耗为零、处理电路简单、不易受干扰等特点已逐步成为物联网系统中首选的振动监测传感器件.然而,目前的阈值传感器仅能对单一方向
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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基于MEMS技术的无源振动阈值传感器因其待机功耗为零、处理电路简单、不易受干扰等特点已逐步成为物联网系统中首选的振动监测传感器件.然而,目前的阈值传感器仅能对单一方向的振动加速度敏感,更为重要的是其接通信号的脉冲宽度极为短暂,给物联网系统的集成应用和信号处理造成了很大的困难.本项目以微纳集成加工技术为基础,提出了一种集多个方向加速度敏感作用于一体的微型振动阈值传感器新设计,并利用纳米纤维柔性层增强电极间的接触效果,大大拓宽了传感器接通信号的脉冲宽度.
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