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脉冲放电是在大气压下产生低温等离子体的一个很有前景的研究方向。针对不同的放电要求,激发等离子体的激励源多种多样。本文中研制了一种由多级电源模块串联来产生重频高压脉冲的微秒脉冲发生器。该脉冲发生器可以在1000Ω负载下产生脉冲电压最高2kV,脉冲频率最大为5kHz,脉冲宽度为数十微秒。输出脉冲电压幅值由充电端的调压器控制,脉冲频率和脉宽等由一款程控脉冲发生器控制。另外,该微秒脉冲发生器成功在空气中He 辅助电晕放电实验中得到了应用。