【摘 要】
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多晶硅片可以用化学方法进行表面织构,化学腐蚀液有酸性和碱性两类.碱溶液能在单晶硅电池表面的(100)晶向上通过各向异性腐蚀形成随机分布的金字塔,大大增加了光吸收.多晶硅
【机 构】
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上海交通大学物理系太阳能研究所(上海)
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多晶硅片可以用化学方法进行表面织构,化学腐蚀液有酸性和碱性两类.碱溶液能在单晶硅电池表面的(100)晶向上通过各向异性腐蚀形成随机分布的金字塔,大大增加了光吸收.多晶硅片只有极少部分晶粒的晶向是(100),所以利用碱溶液腐蚀多晶硅得到的表面织构效果很不明显.这意味着碱溶液织构方法不完全适合处理多晶硅.而酸溶液(HF,NHO<,3>,CH<,3>COOH的混合物)腐蚀多晶硅片表面具有各向同性腐蚀的特点,为此,我们在实验中采用酸溶液来织构多晶硅片表面.
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