【摘 要】
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高密度焦平面探测器的串音特性在光电仪器应用中备受关注,本文研究了近红外InGaAs探测器的串音特性.设计了中心距为30μm的32×32元面阵器件,采用激光束诱导电流技术(LBIC)研
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083
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高密度焦平面探测器的串音特性在光电仪器应用中备受关注,本文研究了近红外InGaAs探测器的串音特性.设计了中心距为30μm的32×32元面阵器件,采用激光束诱导电流技术(LBIC)研究了光敏区载流子的横向扩散及填充因子,结果表明通过优化相邻光敏元扩散隔离区的间距,在室温下器件填充因子可以达到98％,且相邻光敏元之间响应存在明显极小值;在器件结构设计及测试结果的基础上,研制了800×2元InGaAs焦平面探测器,其光电性能良好,串音效果有所改善,该组件应用于光电成像仪器,推算其MTF约为0.50,成像图片清晰.
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