【摘 要】
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基于微机电系统(MEMS)工艺我们报道了高性能的Si 基超疏液表面[1-3]，具有优秀的结构及性能可控性，对水和油等各种液体的接触角(CA)大于150°，接触角滞后(CAH)极小，比超疏水表
【机 构】
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中山大学物理科学与工程技术学院,广州,510275
【出 处】
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第八届全国微全分析系统学术会议、第三届全国微纳尺度生物分离分析学术会议暨第五届国际微化学与微系统学术会议
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基于微机电系统(MEMS)工艺我们报道了高性能的Si 基超疏液表面[1-3]，具有优秀的结构及性能可控性，对水和油等各种液体的接触角(CA)大于150°，接触角滞后(CAH)极小，比超疏水表面具有更好的普适性和稳定性，可作为液滴微流控的通用平台[2]。但原制备方法依赖于昂贵复杂的Si深刻蚀工艺，无法批量、低成本，不适用于其它材料。在此，我们提出一种基于PDMS的两步"软复制(Soft Replica)"法(图1)，以PDMS作为柔性模板，将Si衬底的T型结构精确复制到多种可固化的高分子材料如PMMA 和玻璃树脂上，不仅可保持高质量的超疏水超疏油性能(图2)，还具有新特性如良好透光率。由于Si和PDMS模板的耐用性，每一个均可进行多次复制因此显著降低了制备成本。我们示范了10×10次复制了100个PMMA超疏液样品，仍具有基本一致的良好超疏液性能(图3)，其性能并不随着复制次数的增加而明显降低，对水和油等各种液体的接触角(CA)达到153°，接触角滞后约14°。
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