【摘 要】
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线位移传感器在国防军工产品、精密设备的生产和试验中应用非常广泛,线位移传感器自身的精度精准尤其重要,无论是生产制造时还是使用时,线位移传感器的校准工作也变得越来越
【机 构】
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青岛前哨精密机械有限责任公司,山东·青岛,266045
【出 处】
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山东省航空航天学会2017学术年会
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线位移传感器在国防军工产品、精密设备的生产和试验中应用非常广泛,线位移传感器自身的精度精准尤其重要,无论是生产制造时还是使用时,线位移传感器的校准工作也变得越来越重要.目前,国内外常用的线位移传感器校准方法是通过万工显、测长机、激光干涉仪等仪器设备提供标准位移,对被校传感器进行测量,得到线位移传感器的输入-输出关系,进而实现传感器的校准.激光干涉仪具有很高的测量精度,它以激光波长作为长度标准,线性测量精度优于±0.5×10-6μm/m,是目前国际上最先进的长度测量仪器,但校准机构较复杂、成本高,对测量环境要求高,可实现任意准确度、大量程位移传感器的校准;采用万工显、测长机等设备进行校准,校准过程以手工操作为主,不仅存在夹具缺乏,操作繁杂,而且其工作效率低、费时费力、测量可靠性差、测量范围小且对测量人员的检测素养要求极高等缺点,这在很大程度上影响了线位移传感器各项工作指标的可靠性.本文提出一种线位移传感器检测标准装置的自动快速校准方法,该装置依照JJF1305-2011《线位移传感器校准规范》进行线位移传感器的基本误差、线性度、重复性、回程等静态特性指标的校准.其装置采用激光干涉仪作为长度测量标准,配置电源盒和数据采集系统,通过计算机自动记录、保存、数据处理、原始记录和校准证书的自动生成,能实现线位移传感器的自动化校准.本装置所采用的标准器与国际水平齐平,运动定位及数据采集处理系统控制在微米量级,整套装置的测量不确定度U=(3+3L)μm(k=2),定位国内先进水平.
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