【摘 要】
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本文采用流体动力学模型对半导体器件进行了二维数值模拟.该模型适用于描述高频强电场条件下运行的亚微米半导体器件.本文首先给出了半导体模型方程,然后介绍时间推进步骤和
【机 构】
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西北核技术研究所,西安69信箱第5研究室
【出 处】
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第十二届全国流体力学数值方法研讨会、理论气体动力学专业委员会年会暨第十二届学术交流会、计算爆炸力学专题研讨会
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本文采用流体动力学模型对半导体器件进行了二维数值模拟.该模型适用于描述高频强电场条件下运行的亚微米半导体器件.本文首先给出了半导体模型方程,然后介绍时间推进步骤和有限体积方法,再讨论了器件的边界条件.最后对具有亚微米级的GaAsMESFET进行了数值模拟.数值结果表明,在强电场下,电子温度将严重偏离晶格温度,形成所谓热电子.
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