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利用激光分子束外延（L-MBE）在蓝宝石（1-102）面上自组织外延生长了ZnO量子点。借助反射式高能电子衍射（RHEED）对ZnOl 量子点在蓝宝石（1-102）面的成核与生长过程进行了实时观察，采用X 射线衍射对样品进行了结构分析，并用AFM观察到了不同厚度ZnO样品的形貌变化。发现ZnO 在蓝宝石（1-102）面的生长为完全岛状生长模式；ZnO 量子点在生长比较薄的时候为金字塔形状，而随着生长厚度的增加变为六方柱结构。