【摘 要】
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Among the nondestructive techniques for measuring stress in thin films, X-ray diffraction (XRD) is one of the delicate and well-established techniques.However,u
【出 处】
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2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
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Among the nondestructive techniques for measuring stress in thin films, X-ray diffraction (XRD) is one of the delicate and well-established techniques.However,using conventional sin2 and the like XRD methods to measure residual stresses in textured thin films have always been problematic.
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