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该文在介绍ＩＣ工艺受控概念和统计过程控制（ＳＰＣ）基本原理的基础上，分析了ＳＰＣ工艺参数的嵌套性特点。通过数理分析，建立了适用于ＳＰＣ的数学模型。并同时简要介绍了他们开发的ＸＤＳＰＣ软件。
SPC中的IC工艺参数嵌套性模型
【摘 要】
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该文在介绍ＩＣ工艺受控概念和统计过程控制（ＳＰＣ）基本原理的基础上，分析了ＳＰＣ工艺参数的嵌套性特点。通过数理分析，建立了适用于ＳＰＣ的数学模型。并同时简要介绍了他们开发的ＸＤＳＰＣ软件。
【机 构】
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电子科技大学微电子所
【出 处】
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第七届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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1997年期
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