大气压射频等离子体的频率与尺度效应

来源 :第十五届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cgrong
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  大气压射频放电因具有诸多优势,日益成为一种备受关注的大气压非平衡等离子体产生方式,展示了广阔的应用前景。本文采用一维流体模型来研究同功率条件下大气压射频放电等离子体的频率与尺度效应。为了保证相同功率,本文发展了一种保持同功率的算法。即随着频率、间隙等放电参数的改变,该算法可以自动调节放电电流、放电电压及其相位差来满足给定的功率。该算法可以有效的保证在同功率条件下来研究放电的特性。本文研究了当放电频率、放电尺度等条件变化时,在给定的功率下,电子密度、电子温度、放电电流及放电电压等微观与宏观等离子体参数的演化规律。特别是计算结果表明,在同功率条件下随着放电间隙的变化,电子密度并不是单调变化的,这意味着从电子密度的角度来看,存在着一个最优间隙。本文的计算结果将为射频放电装置的优化提供一定的理论依据。
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