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新型纳米级合成稀土氧化物材料及在微电子工业潜在应用
【机 构】
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美国菲利浦电子公司研究中心
【出 处】
：
中国科学技术协会第二届青年学术年会(材料科学技术)
【发表日期】
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1995年期
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