64/128元线列混成InSb焦面探测器

• 作 者: 黄水安 王巍
• 机 构: 航空工业总公司第零一四中心(洛阳)
• 出 处: 第十三届全国红外科学技术交流会
• 发表日期: 1998年期
• 关键词: 焦面探测器 元器件 光敏面 光伏型 相关双取样 多路传输器 信号输出 工作波段 不均匀度 制冷器 响应率 制造 用途 型线 芯片 效应 微型 速率 人员 集成

研究人员制造的64/128元线列混成InSb焦面探测器是光伏型的，由光伏型线列Sb芯片与Si-CMOS多路传输器混成，集成在一个微型玻璃杜瓦中，探测器的光电信号输出有两路，可以进行相关双取样处理。64元器件的光敏面为70×70μm<2>，128元器件的光敏面为50×50μ m<2>；探测器的视埸可以按用途确定；工作波段为3.7～4.8μm ；采用J-T效应制冷器，其D<*>bb·1.5×10<10>cm·Hz<1/2>/W，响应率不均匀度≤±10℅，读出速率≥1MHz。