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传统的氧化物半导体纳米材料通常采用加热来实现高灵敏度和快的响应恢复.目前的研究报道显示，光激发是代替加热实现室温测量行之有效的方法[1].ZnO在气敏传感器方面的研究有很长历史，气体吸附对ZnO半导体材料的光学和电学性质有很大的影响.因此，本文以ZnO纳米材料为基础，通过形貌调控、表面修饰等方法制备了对甲醛具有高灵敏性和快的响应恢复性质的光电气敏传感器材料.