【摘 要】
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本文采用电弧熔炼技术制备了不同初始成分的Mn-Cu合金，在0．01mol／L HCl溶液中自由腐蚀去合金化，获得了具有双连续结构的纳米多孔铜。用XRD、SEM和EDS分析了样品的相组成、微观形
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院， 四川 成都 610054 中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川 绵阳 621900
【出 处】
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四川省电子学会生产技术专委会2010年学术年会
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本文采用电弧熔炼技术制备了不同初始成分的Mn-Cu合金，在0．01mol／L HCl溶液中自由腐蚀去合金化，获得了具有双连续结构的纳米多孔铜。用XRD、SEM和EDS分析了样品的相组成、微观形貌和成分含量。研究表明，通过控制初始成分条件可获得孔径为10nm-120nm，系带尺寸为20nm-110nm的纳米多孔铜。初始Cu含量为40at％的合金去合金化受到限制，并留有Mn-cu合金的岛状结构。含铜30at．％至20at．％的合金形成了具有双连续结构的纳米多孔铜，但内部存在裂纹。随着铜含量的降低，孔径和系带尺寸明显提高。Cu含量低于20at％的合金腐蚀后，样品破碎程度高，形成纳米颗粒。
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