大气压射频辉光放电等离子体中能量传递机制的研究

来源 :中国物理学会2013年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:initialD2004
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  深入理解大气压条件下气体的击穿机制对于在一定程度上控制气体的放电模式、推动不同类型等离子体源的实际应用具有重要的意义。在过去的十几年中,国内外的研究者已经在大气压开放气体环境下,采用裸露金属电极结构和射频电源驱动获得了均匀稳定的、具有高活性粒子浓度和低气体温度的辉光放电等离子体。
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