【摘 要】
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本文提出了一种可用于压阻式硅微加速度传感器的结构设计,用两根平行的悬臂梁取代常规的单悬臂梁结构,这种双层悬臂梁结构有助于提高悬臂梁中的纵向压敏电阻的灵敏度。由于该结构属于静不定系统,所以采用虚功原理结合Maxwell-Mohr公式来进行理论分析。有限元仿真的结果验证了这种设计的可行性及理论分析的正确性。
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,合肥 230027 中国科学技术大学,合肥 2
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本文提出了一种可用于压阻式硅微加速度传感器的结构设计,用两根平行的悬臂梁取代常规的单悬臂梁结构,这种双层悬臂梁结构有助于提高悬臂梁中的纵向压敏电阻的灵敏度。由于该结构属于静不定系统,所以采用虚功原理结合Maxwell-Mohr公式来进行理论分析。有限元仿真的结果验证了这种设计的可行性及理论分析的正确性。
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