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彩色PDP制造设备及其进展
彩色PDP制造设备及其进展
来源 :中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhshp123456
【摘 要】
:
彩色PDP制造工艺不同于类半导体工艺的TFTLCD的制作工艺,而是属于真空电子类的,与CRT的帛蜍在多道工艺方面有相似之处。该文介绍了彩色PDP制造设备以及它们的进展情况。
【作 者】
:
樊卫华
李庆青
王绪丰
【机 构】
:
电子器件研究所
【出 处】
:
中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会
【发表日期】
:
1999年9期
【关键词】
:
彩色数字显示器(PDP)
制造设备
真空成膜
真空成膜
曝光
厚膜形成
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彩色PDP制造工艺不同于类半导体工艺的TFTLCD的制作工艺,而是属于真空电子类的,与CRT的帛蜍在多道工艺方面有相似之处。该文介绍了彩色PDP制造设备以及它们的进展情况。
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