【摘 要】
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本文设计了一种10MHz带有可动电极结构的RF MEMS方块谐振器.首先根据机械类比的方法,给出了谐振器的机械参数模型,然后建立了谐振器的等效电路.最后利用ANSYS有限元仿真分析
【机 构】
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电子科技大学电工学院成都611731
【出 处】
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中国电子学会电路与系统学会第二十五届年会
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本文设计了一种10MHz带有可动电极结构的RF MEMS方块谐振器.首先根据机械类比的方法,给出了谐振器的机械参数模型,然后建立了谐振器的等效电路.最后利用ANSYS有限元仿真分析软件验证了谐振器的预期工作模态,利用ADS仿真分析了谐振器的电气性能.从仿真结果来看,本设计使谐振器的动态电阻降为1.5kΩ,插入损耗仅为23.975dB.在施加偏置电压后移动电极与振动块间隙减小至0.5μm,在一定程度上缓解了微加工工艺中制造微小间隙的难度.
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