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根据真空定向凝固条件下硅中杂质铝的理论分布模型,推导获得了铝杂质在真空定向凝固过程中凝固和挥发共同作用下的理论去除率,通过真空定向凝固实验研究了该过程中杂质铝在分凝和挥发共同作用下的去除效果。实验结果表明,铝的实验去除率为95.8%,理论值去除率为96.6%,且真空定向凝固后硅中铝的分布与理论分布吻合较好。两者产生差异的原因由于实验过程中真空度不高、熔体中温度及硅锭凝固速不均匀。同时对凝固速率及温度对硅中主要杂质去除率的影响进行了分析和比较。