【摘 要】
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溅射薄膜压力传感器采用了现代薄膜工艺技术,用陶瓷介质代替了传统应变式压力传感器的粘贴胶层,所以在高温压力测量领域有很好的应用前景.结合航天飞行器的需求,我们进行了-3
【机 构】
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航天长征火箭技术有限公司测控仪表事业部(中国北京)
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溅射薄膜压力传感器采用了现代薄膜工艺技术,用陶瓷介质代替了传统应变式压力传感器的粘贴胶层,所以在高温压力测量领域有很好的应用前景.结合航天飞行器的需求,我们进行了-35~+150℃和-35~+200℃高温、小量程压力传感器的研制.传感器的敏感元件的结构设计采用了硬心圆膜片设计,敏感元件制作工艺采用了先进的离子束溅射沉积和离子束溅射刻蚀工艺.
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