大气下等离子枪沉积类金刚石薄膜的研究

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【摘要】

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本文在大气下,以甲烷为单体,氩气为工作气体,利用DBD等离子枪沉积类金刚石薄膜(DLC).考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉

【作者】

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汤文杰;张跃飞;陈强;葛袁静;

【机构】

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北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,等离子体物理与材料研究室,北京,102600

【出处】

：

第十届全国包装工程学术会议

【发表日期】

：

2006年期

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本文在大气下,以甲烷为单体,氩气为工作气体,利用DBD等离子枪沉积类金刚石薄膜(DLC).考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉积的影响.通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析聚合膜结构并探索可能的沉积机理;表面轮廓仪测定了成膜速率;并对薄膜进行了机械性能测量.

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