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成分梯度阀金属钝化膜高通量表征的椭偏法研究

来源 :第二届全国偏振与椭偏测量研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cnviy

【作 者】

：

左娟 Wolfgang Limberger 陈阿娇 Andrei Ionut Mardare 

【机 构】

：

厦门理工学院,材料科学与工程学院,先进能源材料研究所,福建省功能材料及应用重点实验室,厦门,361028InstituteforChemicalTechnologyofInorganicMateria

【出 处】

：

第二届全国偏振与椭偏测量研讨会

【发表日期】

：

2016年11期

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