【摘 要】
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研究适合高效率率宽谱域太阳电池用透明导电氧化物(TCO)薄膜材料是当前光伏领域的研究热点及重点.MOCVD 技术是一种生长太阳电池用绒面结构ZnO-TCO 薄膜的主流技术,绒面结构
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所& 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室& 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071
【出 处】
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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
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研究适合高效率率宽谱域太阳电池用透明导电氧化物(TCO)薄膜材料是当前光伏领域的研究热点及重点.MOCVD 技术是一种生长太阳电池用绒面结构ZnO-TCO 薄膜的主流技术,绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性,从而降低生产成本.实验中源材料采用二乙基锌(DEZn)和水(H2O),而掺杂剂硼烷(B2H6)气体.MOCVD 制备绒面ZnO-TCO 薄膜过程中提出一种梯度B 掺杂生长技术,即通过逐渐改变B2H6 的掺杂量改善ZnO 薄膜的在可见光及近红外区域(~380-1500nm)的光学透过特性,并维持较好的电学性能.此外,梯度掺杂技术可以调整ZnO 薄膜的晶粒特征,改善薄膜的光散射特性.通过优化薄膜生长过程,在掺杂量为(0+3.0)sccm 时获得薄膜综合性能相对较好的ZnO:B 薄膜,此时薄膜的方块电阻为~11.9Ω,晶粒尺寸为~500 nm,可见光透过率>85％,近红外区域透过率>80％.此种新型梯度掺杂技术具有良好的工艺兼容性,可适用于于产业化推广应用.
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