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金刚石是目前世界上已知材料中的最硬的物质。金刚石是一种集多种优越的物理、化学、光学和热学性能于一身的极品材料。除了硬度最大，还具备最小的摩擦系数、优异的导热性能、优良的电绝缘性、较宽的透光波段、优秀的半导体特性和化学惰性等特性，具有广泛的应用前景和巨大的市场潜力。但是金刚石这种独特的理化性质也给其加工造成极大的困难，已成为金刚石大量应用的瓶颈，亟待解决金刚石材料的高效、超精密和低损伤加工难题，借助化学和机械的协同作用去除金刚石材料的加工方法为金刚石的抛光提供了新的思路。本文根据化学热力学和化学动力学理论，研究化学和机械协同作用下去除金刚石材料的相关原理和要求，提出采用摩擦化学抛光和化学机械抛光组合工艺方案，研究摩擦化学抛光用的抛光盘和化学机械抛光用的抛光液，为金刚石的超精密加工提供了理论基础与技术参考。