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钛是良好的电极基体材料,导电性好,机械强度高,价格低.多孔钛具有良好的三维立体结构和较大的比表面积,然而BDD薄膜在多孔钛上沉积是非常困难的,因为Ti基体和BDD薄膜之间存在着较大的应力,而且Ti基体和BDD薄膜之间易形成TiC导致Ti基体与BDD薄膜间的结合力受到不良影响,所以在制备中要控制TiC的产生.本文针对制备多孔Ti/BDD电极,研究了热丝化学气相沉积法(HFCVD)制备电极过程中硼源浓度对多孔BDD电极的稳定性的影响.