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基于浮点数编码遗传算法的光源掩模优化方法

来源 :第十四届全国光学测试学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：anyjz

【出 处】

：

第十四届全国光学测试学术讨论会

【发表日期】

：

2012年8期

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