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InGaN化合物半导体的禁带宽度从3.39 eV至0.64 eV可调,其波长覆盖了深紫外至近红外波段,这使其在发射波长高度可调的光电器件方面具有很大的应用价值.然而,热力学相的不稳定性导致相分离的出现,并引发大量结构缺陷,使得高晶体质量的InGaN薄膜很难实现,尤其是中间In组分和高In组分区域.