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为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。
硅微谐振式压力传感器测试方法研究
【摘 要】
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为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。
【机 构】
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School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering,Beihang University,Beijing 100191,Chin
【出 处】
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2012年全国压力计量测试技术交流年会
【发表日期】
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2012年11期
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