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小型硅压力传感器是一种市场需求量极大的通用型压力传感器。批量生产工艺的研究是把课题鉴定成果由实验室样品转化为商业化产品的一个重要环节。该文介绍了实现小型硅压力传感器批量生产的关键制造工艺的研究，主要有：采用ＣＡＤ技术进行版图优化设计；用微机械加工技术制造硅杯；双面工艺兼容性的解决；大片静电封接工艺研究；小型化ＯＥＭ结构设计等。经过一年小批量试生产的实践，证明了这些工艺的可行性，产品具有优良的一致性和重复性。